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日曹ITO膜
日曹ITO膜の用途と膜物性
タッチパネル光学部品など、様々な用途に対応しています。
高抵抗ITO膜なら日本曹達
・お客様のニーズに合わせ、抵抗値などの最適化が可能です。
・耐環境性やエッチング性に優れる透明導電膜を提案しています。
・高抵抗でも抵抗値の面内バラツキが小さい点は他製法には見られない特徴です。
日曹ITO膜の膜物性
取扱い製品及び開発品
  製 品 開発品
主な用途 デジタル
タッチパネル
アナログ
タッチパネル
5ワイヤー用
タッチパネル
静電容量
タッチパネル
膜構成 ITO/SiO2 ITO/SiO2 ITO/SiO2 ITO/SiO2
膜厚(nm) 35/40 20/40 20/40 20/40
シート抵抗値(Ω/□) <150 400〜800 1000〜1500 1000〜3000
シート抵抗値バラツキ(%) <10.0 <10.0 <10.0 <10.0
耐熱安定性
(抵抗値変化率)
150℃×60min
変化率<1.20
150℃×60min
変化率<1.20
150℃×60min
変化率<1.20
150℃×60min
変化率<1.20
透過率(%) 550nm >86 >90 >90 >90
※シート抵抗値は任意の範囲で最適化することが可能です。
※シート抵抗値のバラツキ:面内9点のバラツキ= (Max-Min)/Ave/2x100
※透過率は膜厚により変化します。
【成膜基板の種類】
材 質 ソーダライム・ケミカル強化・アンチグレアー加工・低アルカリ(ホウケイ酸)ガラス etc
サイズ MAX 440×510mm / 板厚 0.2 ・ 0.3 ・ 0.4 ・ 0.55 ・ 0.7 ・ 1.1 ・ 1.8 ・ 2.8mm
※これ以外にも対応の可能性があります。御相談ください。
日曹ITO膜の耐環境特性(耐湿試験)
耐湿試験  試験条件:60℃×90%RH
日曹ITO膜は、耐環境性に優れます。
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